В37 М889 Травление высокотемпературных сверхпроводящих пленок Y BaCuO [Текст] / А. Б. Муравьев, А. А. Скутин, К. К. Югай [и др.] // Вестник Омского университета. - 1997. - Вып. 2. - С. 26-28. - Библиогр. в конце ст.
Рубрики: Сверхпроводники Аннотация: Results of investigations of the dry etching of high-T c YBaCuO films are produced. A theoretical model of the etching is discussed. Перейти: http://www.omsu.omskreg.ru/vestnik/articles/y1997-i2/a026/article.html Доп.точки доступа: Муравьев, Александр Борисович; Скутин, Анатолий Александрович; Югай, К. К.; Югай, Климентий Николаевич; Сычев, Сергей Александрович; Серопян, Г. М. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : НБО (1) Свободны: НБО (1) |