621.391 С 916 Сучков, С. Г. Анизотропия тонких металлических пленок и ее влияние на характеристики устройств на поверхностных акустических волнах [Текст] / С. Г. Сучков, Д. А. Баринов // Радиотехника и электроника. - 2002. - Т.47,N4 . - ISSN 0033-8494
Кл.слова (ненормированные): акустические волны -- алюминиевая пленка -- кварц -- плотность пленки -- упругость пленки -- устройство ПАВ Аннотация: Установлено, что упругие свойства тонкой алюминевой пленки, напыленной на поверхность кристалла кварца ST-среза, существенно анизотропны. Обсуждаются причины резкого снижения сдвиговой упругости в пленке и влияние этого фактора на характеристики СВЧ устройств на ПАВ. Перейти: http//www/malk.ru Доп.точки доступа: Баринов, Д.А. |