537.311.33 К 903 Кулинич, О. А. Роль механизмов пластической деформации при формировании наноструктурированного кремния и его фотолюминесцентные свойства [Текст] / О. А. Кулинич // Известия вузов. Физика. - 2012. - Т. 55, № 1. - С. 52-57. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): дефекты -- деформации -- дислокационные сетки -- наноструктурированный кремний -- островки наноструктурированного кремния -- пластические деформации Аннотация: Показана роль механизмов пластической деформации в процессе получения слоев наноструктурированного кремния. Процесс получения наноструктурированного кремния заключается в том, что на поверхности кремниевой пластины выращивались слои окиси кремния различной толщины с последующим их удалением и обработкой в избирательных химических травителях (ИТ) до появления бездефектного островкового кремния, обладающего фотолюминесцентными свойствами, характерными для наноструктурированного кремния. Из анализа спектров интенсивности фотолюминесценции, полученных от области островков наноструктурированного кремния, сделан вывод о различии механизмов пластической деформации для различных толщин выращенного оксида кремния. Обсуждаются возможные механизмы смещения максимума интенсивности спектра фотолюминесценции (ФЛ) в коротковолновую область спектра при уменьшении размеров островков наноструктурированного кремния. |