Изготовление LIGA-шаблонов для создания микрофлюидных аналитических систем [Текст] / Б. Г. Гольденберг [и др. ] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 8. - С. 61-64
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): рентгеновская литография -- рентгеновские микропучки -- микрофлюидные системы -- нанофлюидные системы -- рентгеношаблоны -- LIGA-шаблоны -- стеклоуглеродные подложки Аннотация: Представлены предварительные результаты по созданию и тестированию образцов LIGA-шаблонов для глубокой рентгеновской литографии в спектральном диапазоне 3. 5–13. 5 кэВ. Метод изготовления шаблонов основан на прямом нанесении рисунка шаблона с минимальными размерами элементов > 10 мкм непосредственно рентгеновским микропучком СИ. При таком способе исключается необходимость промежуточного шаблона, что значительно упрощает процесс изготовления, снижает трудоемкость и стоимость создаваемых LIGA-шаблонов. Доп.точки доступа: Гольденберг, Б. Г.; Горячковская, Т. Н.; Елисеев, В. С.; Колчанов, Н. А.; Кондратьев, В. И.; Кулипанов, Г. Н.; Попик, В. М.; Пельтек, С. Е.; Петрова, Е. В.; Пиндюрин, В. Ф. |