539.2 У 534 Умирзаков, Б. Е. Влияние прогрева и электронной бомбардировки на состав и структуру силицидных нанопленок [Текст] / Б. Е. Умирзаков, авт. Д. А. Ташмухамедова // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 11. - С. 100-102 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): электронная бомбардировка -- силицидные нанопленки -- нанопленки Аннотация: Представлены результаты исследований влияния различных внешних воздействий на физико-химические свойства нанопленок силицидов металлов, полученных ионной имплантацией в сочетании с отжигом. Установлено, что состав и эмиссионные свойства нанопленок BaSi2/Si практически не меняются при прогреве до Т= 900 К и при бомбардировке электронами приу j[e] меньше равно 2. 5 мА/см[2]. Доп.точки доступа: Ташмухамедова, Д. А. |