539.2 О-664 Орлов, А. М. О перераспределении дислокаций в монокристаллах кремни вблизи концентраторов напряжений [Текст] / А. М. Орлов, А. А. Соловьев, И. О. Явтушенко, А. А. Скворцов // Физика твердого тела. - 2007. - Т. 49, N 6. - С. 1039-1043. - Библиогр.: с. 1043 (8 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): дислокации; концентраторы напряжений; кремний; монокристаллы кремния; скрайба; скрайбирование Аннотация: Исследован механизм релаксации напряжений вблизи концентратора напряжений - скрайба - в монокристаллах кремния за счет размножения и перемещения дислокаций. Определены энергетические и динамические характеристики наблюдаемых процессов при различных углах ориентации концентраторов напряжений относительно направления [110]. Доп.точки доступа: Соловьев, А. А.; Явтушенко, И. О.; Скворцов, А. А. |