53 С 466 Скупов, А. В. Моделирование процесса ионно-лучевого легирования гетерокомпозиции "кремний на сапфире" методом Монте-Карло с учетом влияния дислокационной структуры [Текст] / А. В. Скупов, авт. С. В. Оболенский // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 4. - С. 37-42 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Физика--Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): ионно-лучевое легирование -- легирование -- гетерокомпозиция "кремний на сапфире" -- ускоренные ионы -- интегральные схемы -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- TRIM-алгоритм Аннотация: Предложена модификация известного TRIM-алгоритма моделирования методом Монте-Карло траекторий ускоренных ионов в мишенях с высокой плотностью структурных дефектов. Проведен расчет параметров профилей пространственного распределения атомов примеси и радиационных дефектов в тонкопленочной гетерокомпозиции "кремний на сапфире" при внедрении ионов бора и фосфора с энергией 30, 60 и 100 кэВ. Показано, что дислокационная структура мишени, учитываемая по предложенной модели, влияет на профиль внедряемых атомов незначительно, в то время как отличие концентрации радиационных дефектов на одном и том же расстоянии от облучаемой поверхности может различаться более чем в два раза в зависимости от типа иона и энергии имплантации. Доп.точки доступа: Оболенский, С. В. |