Сошников, И. П.     Формирование развитой морфологии на поверхности фосфида индия при распылении ионными пучками аргона [Текст] / И. П. Сошников, А. В. Лунев [и др.] // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N7. - Библиогр.: с. 110 (17 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): самоорганизация -- фосфид индия -- поверхностные структуры -- аргоновые пучки -- морфология Аннотация: Проведены исследования самоорганизующихся поверхностных структур InP, образующихся при распылении монохроматичными пучками ионов аргона с энергией от 0.1 до 15 keV. Показано, что обработка аргоновыми пучками поверхности InP может приводить к образованию морфологий "грасс" ли "конус в лунке". Для объяснения формирования рельефа предложена качественная модель, включающая процессы распыления, каскадного перемешивания и поверхностного транспорта. Предложенная модель предсказывает правильный характер зависимости плотности и размеров морфологических элементов от флюенса. Кроме того, модель позволяет объяснить возникновение граничных условий образования морфологий "грасс" и "конус/группа конусов в лунке", а также влияние на них (граничные условия) температуры мишени.Показано, что наличие границ областей травления может приводить к возникновению частичной анизотропии в структуре морфологии Доп.точки доступа: Лунев, А.В.; Гаевский, М.Э.; Нестеров, С.И.; Кулагина, М.М.; Роткина, Л.Г.; Барченко, В.Т.; Калмыкова, И.П.; Ефимов, А.А.; Горбенко, О.М.