539.1/.18 Б 915 Бурмакинский, И. Ю. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на эффективную скорость распыления в магнетронном разряде [Текст] / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // Журнал технической физики. - 2004. - N 1. - Библиогр.: c. 122 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): ионное распыление -- аргон -- магнетронное осаждение -- перезарядка ионов -- ионы Аннотация: Проведен сравнительный анализ скоростей распыления в магнетронной системе ионного распыления для различных материалов мишени. Приведены эффективные коэффициенты распыления, полученные при использовании аргона в качестве рабочего газа. Показано, что отличие коэффициента распыления от значений, полученных методом моноэнергетичных ионных пучков, обусловлено влиянием резонансной перезарядки иона аргона на собственном газе. Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/01/ Доп.точки доступа: Рогов, А. В. |