539.2 О-66 Орлов, А. М. Перераспределения дислокаций в кремнии вблизи концентраторов напряжений [Текст] / А. М. Орлов, А. А. Соловьев, А. А. Скворцов, И. О. Явтушенко // Физика твердого тела. - 2005. - Т. 47, N 11. - С. 1967-1972. - Библиогр.: с. 1972 (13 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): дефекты; дислокации; дислокационные дорожки; концентраторы напряжений; кремниевые пластины; кремний; линейная плотность; полупроводниковые кристаллы; пробег дислокаций Аннотация: Исследовано распределение дефектов в дислокационных дорожках при различных углах индентирования кремниевых пластин. Выявлены закономерности изменения линейной плотности и максимального пробега дислокаций в линиях скольжения. Предложена модель, описывающая распределения дефектов в дислокационных дорожках. Доп.точки доступа: Соловьев, А. А.; Скворцов, А. А.; Явтушенко, И. О. |